MEMS 是一项革命性的新技术，广泛应用于高新技术产业，是一项关系到国家科技发展的关键技术。

MEMS 小讲堂共分为四节，由 ADI 亚太区微机电产品市场与应用经理赵延辉给大家分享四个关于 MEMS 的技术，从理论讲解到实际应用，深入洞悉，完美解决在利用 MEMS 传感器设计过程中遇到的挑战。

今天我们分享最后一节【MEMS 应用举例 – 倾角测量】，本节介绍了利用 MEMS 加速度计做倾角测量的一些应用场景，包括工业、医疗、通信和消费类领域，以及如何利用加速度计来实现倾角测量，影响测量精度的指标有哪些，对于不同的应用场景和目标，推荐的测量器件是什么。

<strong>倾角测量的典型应用</strong>

本文旨在探讨如何用组合器件一类的加速度计提高倾角测量的精度。在乘用车上，电动驻车制动器(EPB)被用于使汽车在平坦的分级道路上保持静止。这是通过用一个单轴或双轴加速度计测量倾角来实现的。一般做法是将一个X轴/Y轴或Z轴低g加速度计装在EPB控制单元中一个专门的模块中。现在，越来越多的汽车配有ESC（电子稳定控制）功能，在单个芯片中集成了组合式低g加速度计和陀螺仪。这样做是为了防止汽车侧滑和翻车；如今，ESC功能已经成为世界各国或地区法律的强制要求。如果通过组合器件（单芯片、组合式加速度计和陀螺仪）实现倾角测量，则不必在车上安装一个独立的EPB模块，结果可以大幅降低汽车的成本。由于组合器件通常用于ESC，所以并未针对倾角检测优化，并且通过组合器件测量倾角时，测量精度有时无法达到要求。由于组合器件是XY轴或XYZ轴，所以通常用X轴进行倾角测量，EPB模块中的部分传统型低-g加速度计使用的是Z轴，因为它是垂直安装在发动机舱里的。检测轴应该与重力垂直，才能取得更高的精度——我们稍后会讨论这一点。