村田发布下一代6轴MEMS惯性传感器SCH16T-K01 judy / 周三, 17 一月 2024 - 10:16 村田（Murata）近日发布了一款新的6轴MEMS惯性传感器SCH16T-K01，可实现高精度机器控制和定位应用。 阅读更多 关于 村田发布下一代6轴MEMS惯性传感器SCH16T-K01登录 发表评论
基于硅纳米波导倏逝场耦合的超紧凑光学式MEMS加速度计 judy / 周一, 26 十二月 2022 - 15:27 近些年，MEMS加速度计因其体积小、功耗低、易于与互补金属氧化物半导体晶体管集成电路（CMOS IC）整合而受到持续关注 阅读更多 关于 基于硅纳米波导倏逝场耦合的超紧凑光学式MEMS加速度计登录 发表评论
